PECVD peć

1.Type: 1200 stupnjeva klizač tipa Dual Zone PECVD sistem
2. Broj faze: jednofazni
3.Termocouple Tip: K tip
4.Model:TOB-DSP-1200 stepen -PECVD
5.MOQ: 1 set

Pošaljite upit

Chat Sada

Uvod u proizvod

1200 stepeni klizač tipa Dual Zone PECVD sistem

Specifikacija

Model	TOB-DSP-1200 stepen -PECVD-I	TOB-DSP-1200 stepen -PECVD-II		TOB-DSP-1200 stepen -PECVD-III	TOB-DSP-1200 stepen -PECVD-IV
Snaga	3KW	3KW		4KW	4KW
Veličina cijevi peći (mm)	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm		Dia 100(OD) X1800mm	Dia 120(OD) X1800mm
Dimenzija	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Napon napajanja	220V
Broj faze	Jednofazni
Način kontrole	Yudian kontrola temperature 30 sekcija može koristiti samo PID regulaciju temperature. FP93 kontrola temperature (iz Japana) (Zamena uvezenih instrumenata, uz doplatu) 1,40 sekcija program kontrole temperature može se podijeliti na 4,2,1 grupni program, ako je program podijeljen u četiri grupe, svaki programski segment 10, 2,6 grupa PID kontrola, niske, srednje i visoke temperature mogu svaka sa setom PID-a, tako da svaki segment može kontrolirati temperaturu je vrlo precizan.
Način kontrole temperature	Inteligentni PID
Zaštita od pregaranja i displej	Da
Zaštita od previsoke temperature	Da
Zaštita od prekomjerne struje	Da
Kontrolna tačnost	+/- 1 stepen
Trigger	Okidač za fazni pomak
SCR	106 / 16E Njemačka Simon Kang
Maksimalna temperatura zone 1,2 temperature	1200 stepeni
Temperaturna zona 1.2 Nazivna temperatura	1150 stepeni
Stopa grijanja	Manje ili jednako 30 stepeni/min (dostupno na zahtjev modifikacije)
Preporučena brzina grijanja	Manje ili jednako 15 stepeni/min
Thermocouple Type	K tip
Dužina grijanja zone 1,2 temperature	205mm
Temperatura okolne površine	Manji ili jednak 45 stepeni
RF moć plazme	Raspon izlazne snage		0-500W
	Maksimalna reflektovana snaga		10W
	Frekvencija signala		13.56MHZ ± 0.005%
	Buka		<30 dB
	Vazdušno hlađenje		metoda hlađenja
	Input Power		208-240V 50 / 60 Hz
Glavni parametri GX sistema napajanja	Standardni raspon		Regulator protoka protona 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (možete odabrati bilo koju skalu)
	Preciznost		± 1.5%
	Pad pritiska		<0.01MPa
	Ponovljivost		± 0.2% F.S
	Max Radni pritisak		3MP
VS-0.1 izduvni sistem	napajanje		220V / 380V 380W
	Brzina pumpanja		2L / S
	Vakum mjerač otpora		ZDR-I
	Opseg mjerenja vakuuma		0.1-10 5 Pa
	Vakum pumpa		VRD-8
	Valovita cijev		KF25X1000mm
	Vakuumski sistem		10 -1Pa